校准双端面研磨机研磨盘平行度需通过机械调整与工艺优化相结合，具体步骤：

一、基础准备

1、水平校正‌

使用高精度水平仪检测机床整体水平度，调整地脚螺栓使基础水平误差≤0.02mm/m。

2、清洁检查‌

彻底清除研磨盘表面残留颗粒，避免划伤盘面，建议采用旋转甩动配合专用清洗液的方式清洁。

二、机械调整（针对下磨盘）

1、三组调节螺钉法‌

松开磨盘固定螺钉，通过环形托盘底部的三组调节螺钉（含锁紧螺母）进行微调：

单次调整幅度≤1/4圈

使用千分表检测调整后平行度，直至上下盘面平行误差≤1μm。

2、动态补偿技术‌

对长期使用导致的偏磨，可采用凸面修整轮修盘，补偿因磨损不均造成的平面度偏差。

三、修整工艺

1、金刚石修整轮法‌

安装基准平面电镀金刚石修整轮，以0.005-0.01mm/次进给量修整研磨盘，修整时长15秒至3分钟（新盘需1分钟）。

2、行星轮修整法‌

将修整环装入行星轮内，通过行星轮公转带动修整环均匀修整盘面，同步注入研磨液提升修整效果。

四、验证与优化

1、测量验证‌

使用表面粗糙度仪检测修整后盘面，Ra值应≤0.1μm，平面度用激光干涉仪检测。

2、工艺参数调整‌

精磨阶段进刀量控制在0.03mm以内，避免因压力过大导致平行度失效。

注：校准后需空载运行10分钟测试振动，异常振动（振幅＞0.05mm）需重新调整。